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真空腔体2

   真空镀膜腔体在真空物理气象沉积上的运用,是一种能适应高真空环境的特殊容器。真空镀膜腔体通常包括腔体主体、法兰适配器、传动轴、主抽气口以及视口设置单元等---这些构成一个完整的真空腔体。
    真空镀膜设备包含很多组件,如真空腔体,真空密封传导件,真空传感器,真空计,离化源,蒸发源和蒸发材料,溅镀靶材,等离子刻蚀设备,电器控制系统、真空抽气机组,冷却单元,法兰,阀门和管件等。
    提供专用真空镀膜设备腔体的定制服务,腔体的外形和开口可以根据用户要求进行设计。
真空腔体内尺寸和外壁尺寸等常规尺寸是非常重要的参数。
    真空腔体或者真空组件的可选项包括法兰、装配形式、表面抛光或电抛光、开口或传导口,加热器和冷却方式等。

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