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STN-10FD30型电弧离子镀

设备介绍:
  • STN-10FD30 是为硬质装饰镀膜而设计的PVD镀膜机。它拥有12-14套高性能的电弧型等离子加速型离化源。
  • 高性能的电弧型离化源技术为获得极高的离化率提供了保证,同时配以精心设计的偏压电源和真空系统,得到稳定、光滑、良好附着力以及坚硬的离子镀膜层不再困难。
  • 为了得到金色的膜层,我们将提供钛靶材和锆靶材以及氮化钛和氮化锆的镀膜工艺。
  • 其他的膜层的制备,我们仅需要更换不同的靶材,不同的反应气体,和不同控制程序即可。
   这种改变可以在很短的时间内完成。
  • 先进的电弧控制系统,由电弧监测,控制和再次引弧系统构成。可以在毫秒时间做出反应。
   并再次引弧。对保证膜层光滑有非常重要的作用。
  • 真空过程由一台带有触摸屏的PLC 控制单元全自动控制。
  • 腔体,真空系统,流量控制,加热单元,等均采用一流元件装配和制造,保证整机拥有一流的可靠性。

主要配置:
真空腔体结构
• 真空腔体内尺寸Φ1250×H1500 mm
• 不锈钢、双层腔壁、水冷
• 一个前门,水冷的前门有和真空腔体一样的弧度,目的是为了在真空的条件下使前门保持足够的强度。
 在前门上有2个有水冷的观察窗
• 底部中间加热器,功率18KW
• 温度测量为热电偶,PID控制

真空泵系统
• 1台抽速16000 L/s的油扩散泵(自动恒温单元)
• 1台抽速300L/s的罗茨真空泵
• 2台抽速分别为70L/s和30L/s的旋片式真空泵

电弧靶
• 数量:12-14
• 型式:EP-10高性能电弧源
• 靶材尺寸:Φ100 x 40 mm
• 位置: 环绕真空腔体
• 电源供应: 直流,最大160A,自动引弧

转架
• 有效镀膜空间:Φ750×H1000mm
• 最大装载质量:360kg
• 行星式转动:6根主轴各带4根子轴
• 自传直径:Φ350mm/Φ130mm
• 控制方式:变频控制

偏压电源
• 电源功率:30KW
• 型式:自适应

控制系统
• PLC 触摸屏,自动控制,良好的彩色人机界面
• 可编程全量程真空计
• 4 通道MFC(质量流量控制器)

 

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