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S700型 阴极多弧离子镀膜设备

型号:  S700
镀膜室尺寸:  Ф500×H600mm
有效镀膜空间:  Ф400×H420mm
电源类型:  欧洲进口脉冲直流偏压电源
真空室结构:  立式前开门结构、后置抽气系统、双层水冷腔室
真空室材质:  优质不锈钢材质腔体
极限真空:  4.0×10-3Pa
抽气时间 (空载):  从大气抽至6.6×10-3Pa≤25分钟
真空获得系统:  爱发科直联式双级旋片真空泵VDN-601(配TMN-401 油雾过滤器);
 科仪涡轮分子泵 抽气速度:1500L/s (具体型号可根据客户的要求进行配置)
镀膜种类:  硬质合金工具镀膜
电弧源:  4 套
偏压电源:  10KW/1台
工件转架 转动方式:  转架采用下传动结构;数字调节渐起渐停,变频调速。双级行星式旋转的转架系统,既适合于对小体积工件进行加工,同时也适合对大尺寸的工件进行镀膜加工。
工件烘烤温度:  室温至450℃可控可调(美国IRCON 红外测温仪)
工艺气体:  3路或4路工艺气体流量控制及显示系统 选配自动加气系统
冷却方式:  水循环冷却方式,另需配冷却水塔或工业冷水机或深冷系统。(客户提供或另购)
控制方式:  手动/自动一体化方式、触摸屏操作、PLC或工业计算机控制
整机总功率:  30KW
报警及保护:  对泵和靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警,并执行相应保护措施及电气联锁功能。
设备占地面积:  4 X 2 X 2.2 m3
其他技术参数:  2 t/Hr approx,1-1.5kg/cm2, 20±5℃
备 注:  镀膜设备的具体配置可根据客户的镀膜产品工艺及客户的要求进行设计。
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