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SA1618-A8M4多弧+溅射专业型复合镀膜设备
日期:2012-06-28   来源:    浏览次数:7415

SA1618-A8M4多弧+溅射专业型复合镀膜设备

用途及使用范围
1.SA1618-A8M4多弧+溅射专业型复合镀膜设备,可在不锈钢、碳钢、硬质合金、玻璃、陶瓷等金属及非金属材料表面镀覆 TiN、ZrN、ZrNC、CrN、CrC、TiNC及其它复合膜层,从而提高制品表面的耐磨性能和抗蚀性能,并提高产品的高技术含量。
2.该机为特别开发的磁控+溅射复合镀膜机。
技术指标
镀膜室尺寸:Φ1600 mm X H1800 mm
极限真空度:优于<1.3×10-3pa(冷态包括转架)
排空时间:从大气抽至6.6 x 10-3 Pa时间〈 20min
等离子体加速器离化源数:8个
中频溅射靶4对

采用最新开发的五极离化源:确保颗粒细腻;幅射均匀;高真空稳弧
  •内置加速电场
  •恒定高斯的水平磁场
  •直接水冷(或间接水冷)
  •自动引弧
  •快速续弧
  •采用自稳弧电源

偏压电源:20 KVA。采用我公司独有的专用大功率偏压电源和溅射靶专用电源,具有特殊保护电路和快速灭弧装置。
  •20KW配8弧设备使用,每弧分配功率高达3KW。装满炉,开全靶,1 KV 齐轰轻松自如
  •特定函数波形输出,彻底消除危害性弧光
  •数字逻辑控制,准确无误
  •调制电压的主弧轰击,场能强大
  •辅助的快速恢复功能,减少活化时间 

工件架转速
  •变频调速,无级渐变,缓起缓停,可换向
  •负重200KG

供气系统:两路
  •自动跟随真空室压强,自动调节进气量
  •每路气均有质量流量显示
  •无需混气罐,调节无滞后
  •预设比例,总量自动或手动均可
  •预设强置换功能,生成起步气冲

加热器输出功率0-18KW
压强控制:节流阀;自动压强调节
设备总功率:110KVA,380V,三相四线制
温度测量方式:热电偶
设备总功率:110KVA max,380伏、三相四线制
设备总重:约4.0t
设备占地面积:5m X 8m
冷却水流量:4t/hr(进水温度25摄氏度以下,压力3KG/CM 2)

 

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