用途及使用范围
1.SA1618-A8M4多弧+溅射专业型复合镀膜设备，可在不锈钢、碳钢、硬质合金、玻璃、陶瓷等金属及非金属材料表面镀覆 TiN、ZrN、ZrNC、CrN、CrC、TiNC及其它复合膜层，从而提高制品表面的耐磨性能和抗蚀性能，并提高产品的高技术含量。
2.该机为特别开发的磁控+溅射复合镀膜机。
技术指标
镀膜室尺寸:Φ1600 mm X H1800 mm
极限真空度:优于＜1.3×10-3pa（冷态包括转架）
排空时间:从大气抽至6.6 x 10-3 Pa时间〈 20min
等离子体加速器离化源数:8个
中频溅射靶4对

采用最新开发的五极离化源:确保颗粒细腻;幅射均匀;高真空稳弧
　　•内置加速电场
　　•恒定高斯的水平磁场
　　•直接水冷（或间接水冷）
　　•自动引弧
　　•快速续弧
　　•采用自稳弧电源

偏压电源：20 KVA。采用我公司独有的专用大功率偏压电源和溅射靶专用电源，具有特殊保护电路和快速灭弧装置。
　　•20KW配8弧设备使用,每弧分配功率高达3KW。装满炉,开全靶,1 KV 齐轰轻松自如
　　•特定函数波形输出,彻底消除危害性弧光
　　•数字逻辑控制,准确无误
　　•调制电压的主弧轰击,场能强大
　　•辅助的快速恢复功能,减少活化时间 

工件架转速
　　•变频调速,无级渐变,缓起缓停,可换向
　　•负重200KG

供气系统:两路
　　•自动跟随真空室压强,自动调节进气量
　　•每路气均有质量流量显示
　　•无需混气罐,调节无滞后
　　•预设比例,总量自动或手动均可
　　•预设强置换功能,生成起步气冲

加热器输出功率0-18KW
压强控制:节流阀;自动压强调节
设备总功率:110KVA,380V,三相四线制
温度测量方式:热电偶
设备总功率:110KVA max,380伏、三相四线制
设备总重:约4.0t
设备占地面积:5m X 8m
冷却水流量:4t/hr（进水温度25摄氏度以下，压力3KG/CM 2）