english 简体中文
您现在的位置是:南方钛金 >> 首页 >> 新闻资讯 >> S1000-A8-TP专业工具镀膜设备
S1000-A8-TP专业工具镀膜设备
日期:2012-06-28   来源:    浏览次数:7423

用途及使用范围
1.S1000-A8-TP 型离子镀膜机是一台多弧离子镀膜设备,可在不锈钢,碳钢,硬质合金,等金属材料表面镀覆 TiN,ZrN,ZrNC,CrN,TiCN, TiAlN, TiCrN及其它复合膜层,从而提高制品表面的耐磨性能和抗蚀性能,并提高产品的高技术含量。

2.该机为特别开发的工具、模具硬质镀膜专用机。
技术指标
  镀膜室尺寸:Φ1000 mm X 1000 mm  
  极限真空度:优于<1.3×10-3pa(冷态包括转架)
  排空时间:(冷态,包括工件架)在扩散泵已正常工作情况下,从大气抽至6.6 x 10-3 Pa时间〈 20min
  等离子体加速器离化源数:8个

采用最新开发的五极离化源:确保颗粒细腻;幅射均匀;高真空稳弧
  •内置加速电场
  •恒定高斯的水平磁场
  •直接水冷(或间接水冷)
  •自动引弧
  •快速续弧
  •采用自稳弧电源

  工件架直流负偏压电源:36 KVA
  采用德国霍廷格脉冲直流偏压电源
  先进的电弧管理技术,极低的电弧剩余能量                                                   
  灵活的电弧管理系统支持多种工艺和应用                                                     
  沉积超薄、均匀的膜层                                                                     
  优化电源参数,从而实现高产量和高性能;维护成本低                                          
  可靠性高,使用寿命长

36KW配8弧设备使用,每弧分配功率高达4.5KW。装满炉,开全靶,1KV齐轰轻松自如
  •特定函数波形输出,彻底消除危害性弧光
  •数字逻辑控制,准确无误
  •调制电压的主弧轰击,场能强大
  •辅助的快速恢复功能,减少活化时间 

工件架转速(内6轴外8轴)额定值:公转转速4r/mim,自转转速15r/min。
  •变频调速,无级渐变,缓起缓停,可换向
  •负重200KG

供气系统:两路(可选配三路或四路)比例给气自动质量流量控制.流量500-1000 SCCM 每路
  •自动跟随真空室压强,自动调节进气量
  •每路气均有质量流量显示
  •无需混气罐,调节无滞后
  •预设比例,总量自动或手动均可
  •预设强置换功能,生成起步气冲

  加热器输出功率0-18KW
  压强控制:节流阀;自动压强调节
  设备总功率:110KVA,380V,三相四线制
  设备总重:3.5t
  设备占地面积:5m X 8m
  冷却水流量:8t/hr

Copyright (C) 2012-2013  中山火炬南方钛金有限公司
返回首页 | 网站地图 | 联系方式