用途及使用范围
1.S1000-A8-TP 型离子镀膜机是一台多弧离子镀膜设备，可在不锈钢，碳钢，硬质合金，等金属材料表面镀覆 TiN，ZrN，ZrNC，CrN，TiCN, TiAlN, TiCrN及其它复合膜层，从而提高制品表面的耐磨性能和抗蚀性能，并提高产品的高技术含量。

2.该机为特别开发的工具、模具硬质镀膜专用机。
技术指标
　　镀膜室尺寸:Φ1000 mm X 1000 mm  
　　极限真空度:优于＜1.3×10-3pa（冷态包括转架）
　　排空时间:（冷态，包括工件架）在扩散泵已正常工作情况下,从大气抽至6.6 x 10-3 Pa时间〈 20min
　　等离子体加速器离化源数:8个

采用最新开发的五极离化源:确保颗粒细腻;幅射均匀;高真空稳弧
　　•内置加速电场
　　•恒定高斯的水平磁场
　　•直接水冷（或间接水冷）
　　•自动引弧
　　•快速续弧
　　•采用自稳弧电源

　　工件架直流负偏压电源：36 KVA
　　采用德国霍廷格脉冲直流偏压电源
　　先进的电弧管理技术，极低的电弧剩余能量                                                   
　　灵活的电弧管理系统支持多种工艺和应用                                                     
　　沉积超薄、均匀的膜层                                                                     
　　优化电源参数，从而实现高产量和高性能;维护成本低                                          
　　可靠性高，使用寿命长

36KW配8弧设备使用,每弧分配功率高达4.5KW。装满炉,开全靶,1KV齐轰轻松自如
　　•特定函数波形输出,彻底消除危害性弧光
　　•数字逻辑控制,准确无误
　　•调制电压的主弧轰击,场能强大
　　•辅助的快速恢复功能,减少活化时间 

工件架转速（内6轴外8轴）额定值:公转转速4r/mim,自转转速15r/min。
　　•变频调速,无级渐变,缓起缓停,可换向
　　•负重200KG

供气系统:两路（可选配三路或四路）比例给气自动质量流量控制.流量500－1000 SCCM 每路
　　•自动跟随真空室压强,自动调节进气量
　　•每路气均有质量流量显示
　　•无需混气罐,调节无滞后
　　•预设比例,总量自动或手动均可
　　•预设强置换功能,生成起步气冲

　　加热器输出功率0-18KW
　　压强控制:节流阀;自动压强调节
　　设备总功率:110KVA,380V,三相四线制
　　设备总重:3.5t
　　设备占地面积:5m X 8m
　　冷却水流量:8t/hr